三軸精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

• 一般環(huán)境使用,無塵環(huán)境使用

• 一款三軸精密大理石運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，XY軸采用十字疊層結(jié)構(gòu)，可選配R軸用于角度調(diào)整，配備高性能直線電機(jī)，滿足高精密定位需求；Z軸配備精密滾柱導(dǎo)軌，承重大、精度高、剛性好；底座選用高品質(zhì)大理石，保證運(yùn)行平面度達(dá)到000級(jí)，另可選配光柵尺編碼反饋，精度更加有保障。用于半導(dǎo)體檢測(cè)晶圓的調(diào)整，光學(xué)檢測(cè)，視覺定位等應(yīng)用場(chǎng)景

• 產(chǎn)品參數(shù)

  XY軸重復(fù)定位精度：±2μm
  XY軸定位精度：5μm
  有效行程：300mm
  最高速度：500mm/s
  直線度：6μm/500mm
  最大負(fù)載：5kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時(shí)，會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請(qǐng)將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。