xy精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

• 一般環(huán)境使用,無(wú)塵環(huán)境使用

• 一款直驅(qū)XY精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，XY軸十字疊層三片式結(jié)構(gòu)，配備自潤(rùn)滑的精密滾柱導(dǎo)軌，承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)，采用光柵閉環(huán)反饋和防塵設(shè)計(jì)，多種行程可選擇。用于晶圓切割、激光加工、測(cè)試測(cè)量、電子元件組裝及檢驗(yàn)等自動(dòng)化領(lǐng)域。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  重復(fù)定位精度：±1μm
  定位精度：3μm
  有效行程：100 - 350mm
  最高速度：300mm/s
  直線度：6μm / 500mm
  最大負(fù)載：10kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過(guò)750mm時(shí)，會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請(qǐng)將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。