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精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定做廠家

Wafer & Precision Instrument Motion Stage

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  • 視覺測(cè)試平臺(tái)

視覺測(cè)試平臺(tái)

  • 一般環(huán)境使用,無(wú)塵環(huán)境使用
  • 視覺測(cè)試平臺(tái),由固定的相機(jī)和直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)組成,直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)使用大理石框架和高精密直線電機(jī)組成,位置反饋采用光柵閉環(huán)反饋系統(tǒng),還可采用防塵設(shè)計(jì),擁有高剛性,大負(fù)載,高精度等優(yōu)越的性能,多種行程可選擇。配備自潤(rùn)滑的精密滾柱導(dǎo)軌,承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)。

  • 產(chǎn)品參數(shù)

    重復(fù)定位精度:±2μm
    定位精度:5μm
    有效行程:100 - 800mm
    最高速度:500mm/s
    直線度:6μm / 500mm
    最大負(fù)載:30kg

    Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時(shí),會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請(qǐng)將降低速度,詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。

視覺測(cè)試平臺(tái)通常包括兩部分,通過直線電機(jī)平臺(tái)改變相機(jī)與被測(cè)產(chǎn)品的相對(duì)位置,來檢測(cè)同一產(chǎn)品不同的位置。相機(jī)通常固定在平臺(tái)上方且固定不動(dòng),而十字平臺(tái)采用大理石平臺(tái),將超高精度導(dǎo)軌安裝在大理石上,驅(qū)動(dòng)單元采用直線電機(jī),推力密度大,體積小,能使整個(gè)平臺(tái)高速度,高精度的運(yùn)行,位置反饋采用光柵閉環(huán)反饋系統(tǒng),確保整個(gè)系統(tǒng)安全穩(wěn)定的運(yùn)行。


運(yùn)動(dòng)平臺(tái)特點(diǎn)

  • 高精度的直驅(qū)結(jié)構(gòu);

  • 中型寬度尺寸高剛度設(shè)計(jì);

  • 精密滾柱直線導(dǎo)軌;

  • 多種行程可選;

  • 光柵尺閉環(huán)反饋;

  • 可配置龍門Z軸及旋轉(zhuǎn)R軸。  


運(yùn)動(dòng)平臺(tái)參數(shù)

 規(guī)格  / 軸向 X軸 / Y軸
重復(fù)定位精度±2μm
定位精度5μm
有效行程100 - 800mm
最高速度500mm/s 
直線度6μm / 500mm
平面度000級(jí)
最大加速度2G
最大負(fù)載30kg
光柵尺分辨率0.5μm

注意:以上參數(shù)僅做為選型參數(shù)使用,最終參數(shù)以出廠產(chǎn)品為準(zhǔn)。以上定位精度在實(shí)驗(yàn)環(huán)境下激光干涉儀補(bǔ)償后測(cè)得。


本文關(guān)鍵詞: 直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)