XY氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

• 一般環(huán)境使用,無(wú)塵環(huán)境使用

• 一款XY平面式氣浮平臺(tái)，雙驅(qū)橫梁均采用空氣導(dǎo)軌的 H 橋式結(jié)構(gòu)。采用有限元分析優(yōu)化的氣浮軸承補(bǔ)償設(shè)計(jì)技術(shù)，提高精度的同時(shí)，也提高動(dòng)態(tài)性能?？梢愿鶕?jù)客戶需求配置、行程、負(fù)載、特殊結(jié)構(gòu)等進(jìn)行評(píng)估定制。用于不同尺寸和工藝的晶圓檢測(cè)及其他高精密檢測(cè)應(yīng)用場(chǎng)景。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  有效行程：300mm x 300mm
  定位精度：0.3μm
  雙向重復(fù)定位精度：±0.1μm
  最高速度：1000mm/s
  直線度：2μm / 300mm
  平面度：000級(jí)
  最大水平負(fù)載：50kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過(guò)750mm時(shí)，會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請(qǐng)將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。